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MOCVD喷淋头的焊接工艺研究

    摘要
  • 摘要: 喷淋头是MOCVD反应器中的关键部件,其设计和加工难度大.采用特殊的结构设计和合理工艺方法,配合加工工装和焊接夹具,选择合理的基准面和焊接参数,降低了加工难度.

     

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